■ 개 념
LTCC Open/Short 검사기는 LTCC Chip의 전기적인 Open, Short를 자동으로 검사하는 LTCC 기판 자동 검사 장비.
■ 특 징 .
검사 시간 단축을 위하여 Align Data 측정, Open/Short 검사, NG Cell Marking의 공정을 모듈화 하여 동시에 진행 ( 1Sheet(=120 Cell) 검사시간 4분 )
Card형 Probe 채택으로 모델 추가 및 변경 용이
PC Based로서 손쉬운 U/I 채택, 다양한 확장성..
측정결과 실시간 모니터링 가능
검사결과 파일 자동 저장 기능으로 제품 관리의 편의성을 높임