TSP 레이저 패터닝기

■ 개 념

Align을 통해 Mask Glass와 Panel을 정밀 동기화 한 후 입력한 Recipe대로 Laser를 사출하며 Patterning 하는 장비.

■ 특 징 .

자동화를 통해 One Click으로 모든 항목을 일괄 수행

Patterning시 수행 할 항목을 단계로 구분해 각각 수동으로 필요한 작업만 수행 가능.

Mask Stage와Panel Stage의 실시간 감시로 돌발 상황시 즉각 대응 가능.

Dual Cam Mode와 Single CamMode로 Panel의 Size에 관계없이 Align 가능.

Patterning에 필요한 기타 Setting을 각모델로 구분 관리.

모든 수행에 관한 Log 기록.